4月28日,由石墨邦主辦的2025年第六屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)在長(zhǎng)沙召開(kāi)。
頂立科技董事長(zhǎng)戴煜博士在會(huì)上作“半導(dǎo)體用關(guān)鍵涂層材料及熱工裝備技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀”主題報(bào)告,介紹了公司在半導(dǎo)體關(guān)鍵涂層材料及熱工裝備領(lǐng)域的技術(shù)突破,針對(duì)第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)單晶生長(zhǎng)用高性能涂層材料的迫切需求,開(kāi)發(fā)了碳化鉭(TaC)和碳化硅(SiC)涂層制備技術(shù),實(shí)現(xiàn)了大尺寸、細(xì)晶、均勻且致密的涂層制備,該成果顯著提升了晶體生長(zhǎng)用石墨基座的耐腐蝕性、導(dǎo)熱均勻性及使用壽命,已在國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。
報(bào)告對(duì)半導(dǎo)體核心原材料及零部件制備過(guò)程中所需的熱工設(shè)備進(jìn)行了全面介紹。公司自主研發(fā)的化學(xué)氣相沉積爐、高溫?zé)Y(jié)爐、石墨化爐以及純化設(shè)備等,憑借其先進(jìn)的技術(shù)和可靠的品質(zhì),在行業(yè)內(nèi)持續(xù)保持領(lǐng)先地位。
會(huì)議期間,頂立科技與華錦新材、芯科半導(dǎo)體新材料簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議,三方將圍繞等靜壓石墨、多孔石墨及涂層新材料的研發(fā)、生產(chǎn)及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用展開(kāi)深度協(xié)同,精準(zhǔn)匹配第三代半導(dǎo)體對(duì)高溫、高頻、高功率場(chǎng)景的嚴(yán)苛需求,將合力打造高純度、高性能的石墨材料產(chǎn)品矩陣,加速推進(jìn)高端新材料的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。
此次合作將充分發(fā)揮三家優(yōu)勢(shì),依托頂立科技在特種熱工裝備與工藝領(lǐng)域的深厚積累,結(jié)合華錦新材、芯科新材在前沿材料研發(fā)與規(guī)模化生產(chǎn)的領(lǐng)先實(shí)力,將實(shí)現(xiàn)“裝備-材料-工藝”的協(xié)同創(chuàng)新,將為新能源汽車、5G通信等領(lǐng)域第三代半導(dǎo)體器件的國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)提供關(guān)鍵材料支撐,助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力邁上新臺(tái)階。